EVG®120 Automated Resist Processing System自动抗蚀剂处理系

EVG^®120 Automated Resist Processing System

EVG®120   自动抗蚀剂处理系统

EVG®120是紧凑，经济高效的抗蚀剂处理系统，可在洁净室空间有限的情况下启动生产。

技术数据

新型EVG120通用和全自动抗蚀剂处理工具能够处理高达200 mm / 8“的各种基板形状和尺寸。新一代EVG120采用全新的紧凑设计，并带有新开发的化学柜，可用于外部存储化学品，同时提供高的通量能力，针对大批量客户需求进行了优化，并准备在大批量生产（HVM）中使用EVG120为用户提供了一套精心设计的优势，这是其他任何工具所无法企及的，并保证了质量各种应用领域的标准，拥有成本却非常低。

特征

晶圆尺寸可达200毫米；紧凑设计，占用空间小；多2个涂布/显影室和10个热/冷板

用于旋涂和喷涂，显影，烘烤和冷却的多功能模块的多功能组合为许多应用领域提供了巨大的机会

化学柜，用于化学品的外部存储

EVG集团专有的OmniSpray®声雾化技术在端地形的保形涂层方面可提供的工艺结果

CoverSpinTM旋转盖可降低抗蚀剂消耗并优化抗蚀剂涂层的均匀性

Megasonic技术用于清洁，声波化学处理和显影，可提高处理效率并将处理时间从数小时缩短至数分钟

且经过现场验证的机器人具有双末端执行器功能，可确保连续的高产量

工艺技术和开发服务:

多用户概念（无限数量的用户帐户和配方，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）;智能过程控制和数据分析功能[Framework SW Platform]；用于过程和机器控制的集成分析功能；设备和过程性能跟踪功能；并行/排队任务处理功能；智能处理功能发生和警报分析；智能维护管理和跟踪。

技术数据

可用模块：旋涂/OmniSpray®/显影   烤/冷晶圆处理选项   单/双EE /边缘处理/晶圆翻转

弯曲/翘曲/薄晶圆处理             智能过程控制和数据分析功能（框架SW平台）

用于过程和机器控制的集成分析功能：

并行任务/排队任务处理功能             设备和过程性能跟踪功能

智能处理功能                    事故和警报分析/智能维护管理和跟踪

晶圆直径（基板尺寸）：高达200毫米

模块数：工艺模块：2；烘烤/冷却模块：多10个

工业自动化功能：

Ergo装载盒工作站/ SMIF装载端口/ SECS / GEM / FOUP装载端口

分配选项：

各种抗蚀剂分配泵，可覆盖高达52000 cP的各种粘度

液体底漆/预湿/洗碗       去除边缘珠（EBR）/背面冲洗（BSR）

恒压分配系统/注射器分配系统      电阻分配泵具有流量监控功能

可编程分配速率/可编程体积/可编程回吸    音波

附加模块选项：

预对准：光学/机械       ID读取器：条形码，字母数字，数据矩阵

系统控制：操作系统：Windows

文件共享和备份解决方案/无限制配方和参数/离线配方编辑器；灵活的流程定义/易于拖放的配方编程；并行处理多个作业/实时远程访问，诊断和故障排除；多语言用户GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR。