EVG Metrology Systems 计量系统

Metrology Systems  计量系统

计量对于控制，优化并确保半导体制造过程中的产量至关重要。 通过实施反馈循环，可以启用过程控制和过程参数校正，从而可以满足严格的过程要求。

EVG的度量衡解决方案针对光刻和所有类型的粘合应用进行了优化，并使用无损测量方法。 客户可以选择将计量技术集成到全自动过程设备中，也可以选择服务于多个过程步骤的立计量系统。

EVG®20

红外线检查系统

快速检查键合晶圆叠层的空隙。

EVG®40NT

自动化测量系统

适用于键合和光刻的多功能，高精度度量衡。

EVG®50

自动化计量系统

适用于键合叠层和单晶片的高通量，高分辨率度量衡。