EVG UV-NIL /SmartNIL®紫外线纳米压印光刻

UV-NIL /SmartNIL®系统

EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻（UV-NIL）提供完整的产品线，包括不同的单步压印系统，大面积压印机以及用于高效母版制作的分步重复系统。除了柔软的UV-NIL，EVG还提供其专有的SmartNIL技术以及多种用途的聚合物印模技术。高效，强大的SmartNIL工艺可提供高图案保真度，高度均匀的图案层和少的残留层，并具有易于调整的晶圆尺寸和产量。

EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期承诺，即纳米压印是一种用于大规模生产微米和纳米级结构的高性能，低成本和具有批量生产能力的技术。

选择您的UV-NIL /SmartNIL®系统

EVG®610    UV-纳米压印光刻系统

具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统，从小件到150毫米

EVG®620NT    SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统，采用EVG专有的SmartNIL®技术，可达100 mm

EVG®6200NT    SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统，采用EVG专有的SmartNIL®技术（150毫米）。

EVG®720    自动化的SmartNIL®UV纳米压印系统

具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案可达150毫米。

EVG®7200    自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案200毫米

EVG®7200LA    自动化的大面积SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

大面积的共形纳米压印光刻技术。

HERCULES®NIL    完全集成的SmartNIL®UV-NIL系统

完全集成的纳米压印光刻解决方案，用于大规模生产，具有EVG专有的SmartNIL®压印技术。

EVG®770    分步重复纳米压印光刻系统

分步重复纳米压印光刻技术，可实现高效的母版制作。

IQAligner®    自动化紫外线纳米压印光刻系统

高精度UV压印系统，用于晶圆级透镜成型和堆叠。