ALD 原子层沉积系统R-200

PICOSUN原子层沉积系统ALD R-20版

（PICOSUN™ ALD R-200 Standard）

名称：原子层沉积系统  产地：芬兰
 

Picosun简介

Picosun是一家公司，Picosun的总部位于芬兰的Espoo，其生产设施位于芬兰的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN®ALD设备专为高产量和高产量而设计，并且不断发展以提率。Picosun适应性强其客户包括zui  大的电子制造商，小型的型挑战者以及ling先的大学。 Picosun的组织机构和种类繁多的ALD解决方案都可以满足每个客户的需求。PICOSUN®研发工具具有特的内置可扩展性，可确保将研究结果平稳过渡到大批量工业制造中，而不会出现技术差距。Picosun的热情在于。当您想与设备制造商共同创建定制的ALD解决方案，从而引ling行业发展时，Picosun是您的合作伙伴。

Picosun特的突破性ALD知识可追溯到ALD技术本身的诞生。于1974年在芬兰发明了ALD方法，并在工业上获得了。在高质量ALD系统设计方面拥有丰富的经验。高度敬业的Picosun人员拥有的ALD经验，并且为ALD的许多做出了贡献。

    PICOSUN™ R系列设备提供高质量ALD薄膜的沉积技术，并在各种各样的衬底上都表现佳的均匀性，包括具挑战性的通孔的、高深宽比和颗粒等样品。我们为液体、气体和固体化学物提供的的，易换的前驱源系统，能够在晶圆、3D样品和各种纳米特性的样品上生长颗粒度小的薄膜层。在基本的PICOSUN™ R系列配置中可以选择多个立的，分离的源入口匹配多种类型的前驱源。PICOSUN™ R系列特的扩展性使ALD工艺可以从研究环境直接过渡到生产环境的PICOSUN™ P系列ALD系统。由于研发型与生产型PICOSUN™反应腔室设计特点都是相同的,这了实验室与制造车间之间的鸿沟。对大学来说,突破的技术转化到生产中，就会吸引到企业投资。

PICOSUN®R-200标准

PICOSUN®R-200标准ALD系统适用于数十种应用的研发，例如IC组件，MEMS器件，显示器，LED，激光和3D对象，例如透镜，光学器件，珠宝，硬币和医疗植入物。热ALD研究工具的市场者。它已成为驱动的公司和研究机构的工具。

敏捷的设计实现了质量的ALD薄膜沉积以及系统的终灵活性，可以满足未来的需求和应用。的热壁设计具有立的入口和仪器，可实现无颗粒工艺，适用于晶圆，3D对象和所有纳米级特征上的多种材料。得益于我们专有的Picoflow™技术，即使在具挑战性的通孔，高长宽比和纳米颗粒样品上也可以实现出色的均匀性。 PICOSUN®R-200 Standard系统配备了功能强大且易于换的液态，气态和固态化学物质前体源。与手套箱，粉末室和各种原位分析系统集成，无论您现在的研究领域是什么，或以后可能成为什么样的研究领域，都可以进行，灵活的研究，并获得良好的结果。

技术指标

应用领域

客户使用PICOSUN™ R系列ALD 设备在150mm和200mm（6”和8”）晶圆上所沉积薄膜厚度均匀性数据。