SENTECH SENresearch光谱椭偏仪 研发用宽波段光谱椭偏仪 支持对复杂多层膜样品

SENTECH SENresearch光谱椭偏仪

SENresearc是一款研发用宽波段光谱椭偏仪,光谱范围190 nm –2500nm。

该系列光谱椭偏仪能够测量薄膜厚度，折射率，吸收系数，并能够描述材料性质，如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。

SENresearch光谱椭偏仪能够分析并不理想的样品，如退偏效应，非均匀样品，散射和背板反射。SENresearch由SpectraRay II软件操作,完善的软件能够测量数据，建模，拟合并作出椭偏测量、反射/透射测量的结果报告。

SENresearch系列光谱椭偏仪能够测量反射光偏振状态，修正由于非均匀样品、粗糙表面、聚焦角度所导致的退偏效应。并能够分析各向异性样品和材料。 

?SENTECH的地貌图扫描选项，支持对复杂多层膜样品在全波段快速测量并分析其均匀性（小每点5秒）。数据可按照设定的地图图案表现为2D-, 3D-或等高线图，并能够进行统计分析。 

SENresearch 能够测量反射率、透射率。光度测量数据可通过SpectraRay II软件分析。

可选自动角度计，提供大范围入射角度(20-90deg)。可选低温保持器用于温度控制测量。