Centrotherm 卧式热反应系统-E1200/初步小规模生产的卧式炉-E1550/大批量生产的卧式炉-E2000
E1200卧式热反应系统
一、 产品简介
E1200型卧式热反应系统是由德国centrotherm公司研制的特为研发、小批量生产用热反应系统。具有小体积、高工艺性能等特点
可用作常压CVD、LPCVD、PECVD、扩散、氧化、退火等工艺过程,以优良的品质、小的体积、低成本的特点,特别适合低产量、多工艺适应性加工要求的研发或小批量生产。
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二、 工艺特性
常压工艺
LPCVD工艺
PECVD工艺
三、 产品特性
多可搭配4组石英管或碳化硅管反应炉;
清洁的自动载舟系统;
反应炉立控制提供了优质的小批量或复杂工艺能力;
的水冷却系统设计杜绝反应炉的温度干扰不耗用洁净室空气;
设备参数:
反应炉使用晶片尺寸:150mm(多50片)或200mm(多25片)
加热系统:3组300mm恒温区,温差0.5℃;
温控范围:200℃~1300℃;
可处理工艺气体种类:H2、Ar、N2O、N2、SiH4、NH3、B2H6、PH3、SiH2Cl2;
系统总功率:55kW
电源供给:400V.80A;
压缩空气:600~1000kPa;
冷却水流量:50~70LPM
排气能力:400m3/H